株式会社真空デバイス マグネトロンスパッタ装置MSP-20UM
- 最終更新日:2023-07-12 10:17:49.0
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電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す為に。マグネトロンスパッタ装置。
マグネトロンスパッタ装置 MSP-20UMは電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置です。マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。膜純度の向上に活躍します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報マグネトロンスパッタ装置MSP-20UM
【主な特徴】
○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。
○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。
○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。
○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。
○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。
○オプションの傾斜機構付き回転試料ステージで、回り込み性能良好。
○雰囲気ガス導入付きで、2系統の排気システムを切換えて最適条件に。
○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。
○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。
【その他の特徴】
○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。
○膜純度の向上に活躍。
○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。
○押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。
○調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロール スイッチを押すだけ。
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報 | お問い合わせください |
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価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
納期 |
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型番・ブランド名 | MSP-20UM |
用途/実績例 | 【用途】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 |
カタログマグネトロンスパッタ装置MSP-20UM
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