株式会社真空デバイス プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

基本情報プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

【主な特徴】
○SEM試料をプラズマでクリーニングする装置です。
○当社独自のRF電源を使用し、小型・低価格を実現。
○低エネルギープラズマで試料損傷を回避。
○クリーン排気（TMP+SQP）・簡易操作で能率的
○観察によるコンタミネーションを除去し、分析・分解能向上。
○SEMホルダー・絞りのアンチコンタミが可能なハイコストパフォーマンスモデル。

【その他の特徴】
○走査型電子顕微鏡の試料観察においてコンタミを除去し、分解能・分析性能の向上を図る装置です。
○低出力RF13.56MHz励起プラズマ照射による高効率化で試料損傷を抑制したクリーニングが可能です。
○TEM,SEM,FIB試料、試料ホルダー、及び絞りのアンチコンタミ処理が可能です。
　 チャンバー排気はTMP、スクロールポンプによるオイルフリーシステムです。

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カタログプラズマクリーナーＰＣＵ－３０

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取扱企業プラズマクリーナーＰＣＵ－３０

株式会社真空デバイス

○実験器具・装置の開発 ○電子顕微鏡試料作製の開発、製品化、販売、サービス

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