TSV・サファイア基板高速自動測定対応・表面形状測定システム

LEDサファイア基板TTV自動計測システム
LED用サファイア基板TTV検査では世界実績No.1のSEMI準拠自動測定システム。非接触光学式で高精度TSV測定にも対応！

アルテック株式会社

非接触光学式の高速自動化表面形状測定システムです。
LEDサファイア基板、半導体シリコンウェハ、CMOSチップ、PCB、CMP、太陽電池用シリコンブロック、マイクロ流路など多種多様なオブジェクトの測定に対応し、業界を選ばず広い納入実績を誇る自動型の表面形状測定機のグローバルスタンダードです。

複数の光学系を搭載することにより、TTV、BOW/Warp、Roughness、Film Thicknessなどこれまで複数の検査装置で個別に測定していた項目を単一の装置に統合して測定することで工程の効率化に寄与します。

また独自開発のセンサーオプションを搭載することにより、TSV・TGVなどの高アスペクト比のビア深度の非接触光学式測定にも対応しています。
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TSV・サファイア基板高速自動測定対応・表面形状測定システム　基本情報

FRT表面形状装置は以下のような特徴を備えております。

●SEMI完全準拠、ダブルセンサー挟み込みによるウェハTTV自動測定を実現
●複数の光学系を搭載、単一のソフトウェアにより統合処理することにより、TTV、Roughness、Bow、Warp等の測定を1台で実施可能。
（CWLセンサー、共焦点顕微鏡、白色干渉計など光学系のカスタムメイドが可能）
●ステージサイズのカスタム化により様々な対象物の測定に対応。
（例：8インチサファイア基板、12インチシリコンウェハ、PCB、シリコンブロック等）
●カセット-トゥ-カセットに対応した自動搬送ハンドリングシステムを搭載可。高スループットで工程の完全自動化に対応。
●TSV、TGV深度の非接触光学式での高精度測定を実現
（FRT独自開発のWLI PIセンサー〔Patented〕によるワンショット高速測定）

価格	****** ※仕様により価格は変動致します。お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯	1000万円以上 5000万円未満
納期	お問い合わせください ※標準納期4ヶ月～5ヶ月 ※要相談
発売日	2011年04月
型番・ブランド名	FRT MicroProf200 TTV MHU
用途／実績例	●半導体シリコンウェハTTV自動高速測定（カセット・トゥ・カセット) ●LEDサファイア基板TTV自動高速測定（カセット・トゥ・カセット） ●貫通ビア〔TSV、TGV〕深度の非接触高速高精度測定 ●自動車エンジンブロック内部の粗さ測定（ブロックそのままで測定可） ●自動車部品（ギア、シリンダー、クランクシャフト等）の形状・粗さ測定 ●MEMS基板表面のマイクロ流路、エンボス構造の形状測定 ●CMP基板の表面性状（Roughness）の測定 ●太陽電池シリコンインゴットの切断・加工前のブロック表面形状測定 ●太陽電池セル表面の形状測定 ●PCB上の被膜の厚み測定。ソルダーバンプ形状測定。 ●フィルム厚み、フィルム表面の形状測定 ●マイクロレンズ、プリズム、マイクロファイバー等の測定 ●医療サンプルの形状測定への応用（血液細胞、ステント形状他）
よく使用される業種	電子部品・半導体

TSV・サファイア基板高速自動測定対応・表面形状測定システム　取扱い会社

アルテック株式会社詳細

産業機械・機器等の仕入・販売およびこれに関連するサービスの提供を行う卸売事業

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