乾燥装置

IPAベーパーからスピンドライヤーまで各種乾燥装置を取り揃えております。

株式会社ダルトン

ウエハーサイズ、用途、予算等によりカスタマイズし、製作いたします。詳しくはお問い合わせ下さい。
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乾燥装置　基本情報

【IPAベーパー乾燥装置】
安全性を十分考慮した製品。
ヒーター容量が少なく熱伝導率が高い。
石英槽ですので金属溶質もありません。

【スピンドライヤー】
1カセット処理から4キャリアまで処理。
自動機組込可能。
※割れ易い（GaAsなど）ワーク用も有ります。

【クリーンオーブン】
ロボット対応インライン装置も製作可能。
※メリーゴーランド式も有ります。

価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい
発売日	取扱い中
用途／実績例	半導体製造工程、電子材料製造工程、等
よく使用される業種	電子部品・半導体

乾燥装置のカタログ

半導体関連カタログ

取扱製品：前面風速コントローラ・ドラフトチャンバー・バッチ式洗浄（エッチング装置）・枚葉式スピン洗浄（エッチング）装置・リフトオフ装置・有機剥離洗浄装置・治具洗浄装置・石英管洗浄装置・陽極酸化装置・薬液供給/薬液回収装置、乾燥装置、スピンコーター、ストッカー、クリーン関連、排ガス処理装置

[PDF:25MB]
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乾燥装置　取扱い会社

株式会社ダルトン詳細

研究・検査・医学・教育施設（ドラフトチャンバ・各種実験台・流し台等）およびこれらの施設のプランニング、エネルギー配管の設計・製作・施工・販売。排ガス・廃液処理装置、高温恒湿室、低温試験室等の設計・製作・施工・販売。クリーンルーム、バイオクリーンルーム、バイオハザード対策用キャビネット、アイソレーター等の無塵無菌装置、関連機器の設計・製作・施工・販売。ウェットバス、エッチングブース等、半導体関連機器の設計・製作・施工・販売。粉体機械の販売。

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