- メタルマスク超音波洗浄装置
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- 最終更新日:2011/12/04
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- 強力・繊細・メタルマスク超音波洗浄装置
- 株式会社ブルー・スターR&D
- すます高密度化する基盤の需要に対応するためメタルマスクも、レーザーマスク,エッチングマスク,アディティブマスクの3種類とも 高微細加工、高密度化しております。そのため 従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに 対応できなくなってきました。そこで、当社は、真空前処理型超音波洗浄装置MARSと、液晶APR版洗浄装置の 両者の豊富な経験に 基ずき、設置環境が、クラス100のクリーンルームにも対応できる、次世代型・超音波メタルマスク洗浄装置を開発、製造販売を始めることにいたしました。
メタルマスク超音波洗浄装置 基本情報
これは、単なるよくある超音波洗浄機では、ありません。超音波で 目に見える泡が出るような誤解に満ちた超音波洗浄では、従来のシャワー主体のメタルマスク洗浄方法に劣ります。50KHzを基本周波として、275KHzまでの多数の超音波周波数を相乗させ、同時発振する広域同時多重波発振の基本周波を PowerSweepさせ、無数のキャビティー(微小真空核群)を発生させます。25KHzでも、40KHzでもない、版にダメージを与えることのない50KHzが 基本周波です。さらに 洗浄溶剤にそのままどんな超音波を照射しても メタルマスクの洗浄に使える超音波キャビティ(微小真空核群)は 発生しません。進化するメタルマスクの洗浄のために、使える超音波キャビティー(微小真空核群)は、唯一!球状星雲型キャビティーに限ります。この球状星雲型キャビティーを使わない限り、これからのメタルマスクの精密超音波洗浄は、不可能です。そして この球状星雲型キャビティーを安定しては 発生させることができるのが、当社のキャビティーション強化システム付きのメタルマスク超音波洗浄装置MARS-Mmsシリーズです。
| 価格帯 | 500万円以上 1000万円未満 |
|---|---|
| 納期 |
※仕様、時期により納期が変動します。お問い合わせください。 |
| 発売日 |
2011年12月 ※2011年12月から 新発売です。 |
| 型番・ブランド名 | メタルマスク超音波洗浄装置 MARS-Mms シリーズ |
| 用途/実績例 | 当社の提携製造先の片岡機械さんが、多数の販売実績を誇りますが、当社のキャビティーション強化システム付きのMARSの販売は これからになります。コラボによる 新発売です。 |
| よく使用される業種 | 民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体 |
メタルマスク超音波洗浄装置 取扱い会社
株式会社ブルー・スターR&D 株式会社 ブルー・スターR&D詳細
強力超音波洗浄、超音波バリ取り、超音波エッチングなどの 研究開発、請負洗浄、装置の製造販売、ライセンス供与業務。現在・相模原市に 広報・開発拠点を設立。 アジア全域で 営業を展開。
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