最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御可能
当社標準ピエゾドライバーM-2629シリーズにM-5106 サーボユニットを搭載することで最大3軸の歪ゲージセンサーによるピエゾステージのフィードバック制御が可能です。さらに静電容量変位計M-2218 を搭載することで静電容量変位センサーでのフィードバック制御も実現します。JISラックに搭載可能で、「ひずみゲージセンサー内蔵のピエゾ(各メーカー)」に対応しています。
基本情報多チャンネルピエゾコントローラ M-2629S(C)
○電源:AC100V 50Hz/60Hzインレット
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取扱企業多チャンネルピエゾコントローラ M-2629S(C)
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