シエンタオミクロン　複合型分析装置シエンタオミクロン

様々なタイプの複合型分析装置をご用意しております

角度分解分析用超高真空排気装置、HREELS用超高真空排気装置、MBE用超高真空排気装置、複合型分析用超高真空排気装置、UHV NANOPROBEなど、様々なタイプの複合型分析装置をラインナップ。
また、大型複合装置として、成膜系から分析計まで超高真空環境で搬送でき、試料の作製・評価・分析までを一貫したコンセプトで設計、円滑で効率的な実験環境を提供いたします。
さらに、SPM装置との接続にも最大限の注意を払い、SPM性能を損なうことなく大型設備の導入が可能です。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

基本情報シエンタオミクロン　複合型分析装置

【ラインナップ】
○角度分解分析用超高真空排気装置　MULTIPROBE ARUPS
→AR65、SHA50用超高真空排気装置
○HREELS用超高真空排気装置　MULTIPROBE HREELS
→HREELS用超高真空排気装置
○MBE用超高真空排気装置　MULTIPROBE MBE
→MBE用（最大4インチ）超高真空排気装置
○複合型分析用超高真空排気装置　MULTISCAN LAB、NanoSAM
→SEM/SAM/STM/AFM超高真空排気装置
○UHV NANOPROBE
→UHV中4端子測定法

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