コーター/ディベロッパー EVG(R) 100シリーズ

高い品質と柔軟性を兼ね備えた、今までにないコーター/ディベロッパー

イーヴィグループジャパン株式会社

EVG(R) 100シリーズは、高い品質と柔軟性を兼ね備えた、今までにないコーター/ディベロッパーです。様々なプロセスに柔軟に対応できるよう設計されている EVG(R)100 シリーズは、スピンコーティング、スプレーコーティング、ディベロッピング（現像）等のプロセスを網羅しており、ベーク / チル　モジュールも搭載しているレジストプロセス装置です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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コーター/ディベロッパー EVG(R) 100シリーズ　基本情報

【主な特長】
○様々なプロセスに柔軟に対応できるよう設計
○スピンコーティング、スプレーコーティング、
　ディベロッピング（現像）等のプロセスを網羅
○ベーク / チル　モジュール搭載
○様々なレジスト材料に対応
→ポジティブレジスト、ネガティブレジスト、ポリイミド、
　高粘度材料等
○薄いレジスト膜によるレイヤーの作成やエッジ保護膜の作成可能
○2インチから 300 mmまでの基板に対応
○ウェーハエッジ搬送、薄ウェーハ搬送も可能
○R&D から量産まで対応

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

価格	- ※詳細はお問い合わせ下さい。
価格帯	その他
納期	お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	EVG(R) 100シリーズ
用途／実績例	詳細はお問い合わせ下さい。
よく使用される業種	産業用機械、ロボット、食品機械、機械要素・部品、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、製造・加工受託、その他製造、その他

コーター/ディベロッパー EVG(R) 100シリーズのカタログ

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イーヴィグループジャパン株式会社は、「マイクロ及びナノ製造技術の次世代アプリケーションにおいて新技術のパイオニアとしての役割を果たす」というEVGのビジョンが、新しい商品実現化のお手伝いをします。実績に基づくアプリケーションのノウハウをお客様に提供しつつ、協同で開発したシステムやプロセスソリューションの機密保持の取り扱いは厳重な管理を致します。　EVGの装置は最良コストパフォーマンス、最高なスループット/アップタイム、最高の品質とパフォーマンスをお約束します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

[PDF:2MB]
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コーター/ディベロッパー EVG(R) 100シリーズ　取扱い会社

イーヴィグループジャパン株式会社詳細

先端パッケージング、化合物半導体、シリコンベースのパワーデバイス、MEMS、ナノテクノロジー、SOIマーケット等のアプリケーションに活用されるウェーハボンダー、リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィ、測定器、コーター、クリーナー、検査装置を製造、販売する半導体製造装置メーカーです。「マイクロ及びナノ製造技術の次世代アプリケーションにおいて新技術のパイオニアとしての役割を果たす」というビジョンのもとに、新しい商品実現化のお手伝いをします。

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