ジャパンクリエイト株式会社 スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

基本情報スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

【特徴】
○300mm□ガラス基板対応
○卓上型マニュアル式
○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行
○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示

【仕様】
○外形寸法：W420×D500×H335
○モーター：600WACサーボモーター 200V （100Vの場合15Aトランス　オプション）
○回転数：0～3000rpm （MAX5000rpmはオプション）
○回転数表示：デジタル表示
○回転精度：±1rpm
○プログラム数：10プログラム50ステップ
○試料台：真空吸着－50Kpa （真空ポンプはオプション）
○インナーカップ：φ270アルミ削り出し、表面処理
○外カップ：SUS304　φ360絞り加工
○排気/廃液：廃棄はオプション、廃液はカップ止め

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取扱企業スピン洗浄装置　卓上型マニュアルスピンコーター

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

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