ジャパンクリエイト株式会社 スピンドライヤー　SPD型

基本情報スピンドライヤー　SPD型

【特徴】
○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵
→クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上
○クレドールの交換により4～12インチ、ウエハーの乾燥が可能
○異常振動が発生した場合、自動的に停止
○特殊シール及びバキュームにより回転軸からのパーティクルの発生を防止
○常に定位置に停止

【仕様】
○型式：SPD400・500・600・800・1200
○4キャリアタイプ：（2キャリアタイプも可）　但し8インチ及び12インチは2キャリアタイプ
○回転速度：
→水切0～1200rpm（可変）
→通常400～600rpm（可変）
→乾燥0～1200rpm（可変）
→通常700～1000rpm（可変）
○処理時間：
→水切0～999.9sec（可変）
→乾燥0～999.9sec（可変）
○ULPAフィルタ：0.1um、補修率99.9995%以上
○蓋：エアシリンダによる自動開閉
○排気：オートダンパー付き、本体後部１ヶ所
○軸シール剤：特殊シール
○電源：3φAC200V 6KVA 50/60Hz

●詳しくはお問い合わせ下さい。

• お問い合わせ

取扱企業スピンドライヤー　SPD型

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。

TEL・住所

• この企業の製品・サービス一覧を見る(73件)

• 公式サイト