スピンドライヤー　SPD-1200G ジャパンクリエイト

【デモ機貸し出し可能！】蓋にULP又はHEPAフィルターを内蔵し、クリーン度を飛躍的に向上

本機は、ガラス基板やセラミックス基板、フィルム基板等の乾燥を行う装置です。
乾燥物は、専用カセットに入れた物をスピンドライヤーのローターにカセット枠を設け、其処にセットします。
チャンバー内は回転で陰圧となり、蓋に組み込まれたHEPAフィルターを通過したクリーンの風により、チャンバー内のクリーン度を高め、高品質のスピン乾燥が出来ます。
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関連リンク - http://www.japancreate.co.jp/product/spindryer1.ht…

基本情報スピンドライヤー　SPD-1200G

【特徴】
○蓋にULPA又はHEPAフィルターを内蔵
→クリーンエアーを導入することにより、チャンバー内のクリーン度が飛躍的に向上
○異常振動が発生した場合、自動的に停止
○特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止

【仕様】
○型式：SPD-1200G
○基板寸法：W300×D300×0.3t
○回転数：600rpm～800rpm
○本体外寸：W1250×D1400×H1200
○排気：φ150 autodumper
○電源：φ3 AC200V 3KVA

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取扱企業スピンドライヤー　SPD-1200G

ジャパンクリエイト株式会社

当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。【NEW】流山事業所を開設しました！！(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。取扱製品：プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など〒270-0156　千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ　TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。