ジャパンクリエイト株式会社 半導体製造装置 自動レジスト剥離装置
- 最終更新日:2012-08-22 14:41:46.0
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本機はレジスト剥離装置になります。
ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送し、各処理工程を経た後、温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥し、アンローダーに払い出す装置です。
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基本情報半導体製造装置 自動レジスト剥離装置
【特徴】
○レジスト剥離装置
○ローダーにセットされたカセットをロボットが自動的に搬送
○各処理工程を経由
○温風ブロー/スピンドライヤーで乾燥
○アンローダーに払い出し
○製造からアフターフォロー、カスタマイズもお任せ下さい
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取扱企業半導体製造装置 自動レジスト剥離装置
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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