株式会社清和光学製作所 φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置
- 最終更新日：2012-03-01 10:11:58.0
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各工程インテグレードで効率生産！！！
<特徴>
MLCSP、Ｃ-MOSno裏面配線用両面アライメント露光装置です。
エンバイロメント（Foup）を装備し、GEM300、OHTも対応
スピンコーター、デベロッパーもインテクレード可能、レジストコートから露光、現像まで全自動で
パターニングが可能（オプション）
レチクル自動交換（オプション）
基本情報φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置
ワークサイズ ：φ200、300mm
露光方式 ：バキュームコンタクト、
ハードコンタクト、プロキシミティに対応
ランプハウス ：3,5KW又は5KW
照度 ：20mW/cm2（3.5KW）
照度分布 ：±5％以内
タクト ：80-100枚/H
※デモ装置有り
| 価格情報 | お気軽にお問い合わせください。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お気軽にお問い合わせください。 |
| 型番・ブランド名 | コレクト |
| 用途／実績例 | MLCSP、Ｃ-MOSno |
取扱企業φ300mm（12インチ）ウェハー用全自動両面露光装置
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光学機器の設計、製造、販売 1.顕微鏡 2.マシンビジョン及び周辺機器 （光学機器・照明機器・映像機器・FA実装及び半導体関連装置) 3.FPD及び半導体用製造装置 / 検査装置 （露光装置、検査装置、レーザ機器) 4.機器のサービス＆メンテナンス 5.新市場向新開発製品
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