Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。
・ Al、Al合金を腐食しません。
・ 良好な順テーパーを形成します。
・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。
・Pure Etch 160（ AlダメージレスSiエッチング液）の前処理液としても使用可能です。
キーワード：ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜
基本情報Alダメージレス絶縁膜エッチング液
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 用途／実績例 | お問い合わせください。 |
カタログAlダメージレス絶縁膜エッチング液
取扱企業Alダメージレス絶縁膜エッチング液
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電子工業用薬品、試薬・化成品、特殊薬品等の 製造、販売
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