株式会社アイティ・テック ウエハ欠陥自動検査機 WEG8000
- 最終更新日：2012-05-29 16:24:49.0
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カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
カセットtoカセット方式のウェハエッジ自動検査機です。
1枚の検査時間10秒、タクト30秒の高スロープットを実現。
25枚の収納カセットからウェハを1枚ずつロボットが取り出して自動調芯後、検査をしてカセットに収納します。操作が簡単です。
基本情報ウエハ欠陥自動検査機 WEG8000
【特長】
1. エッジ部3面の同時検査可能
2. 欠陥と異物の識別機能
3. トリプル光学系とインテグレイト照明で最適照明を実現
4. オリフラ部を含めた全集検査が可能
5. ウエハ全周撮像と欠陥部レビューファイル機能
◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。
ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
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カタログウエハ欠陥自動検査機 WEG8000
取扱企業ウエハ欠陥自動検査機 WEG8000
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