UHV環境下での極薄膜作製に最適。 英国オックスフォードアルライドリサーチ社製品
高度な制御が可能で多くの材料に対して0.1～50Å/minの範囲でコントロールが可能。
≪用途≫
数nmの薄膜作製、半導体ドーピング
≪特長≫
■冷却効率で今民ネーションフリーの設計
■材料はロッドまたはルツボ充鎮の選択
■標準搭載のフラックスモニタリングプレートにより精密な膜厚コントロール可能
■1ポケットと4ポケットのタイプがあり、4ポケットは、それぞれ独立した制御が可能なタイプと最高４つの材料の同時蒸着が可能なタイプ
基本情報ミニeビームエバポレーター
1ポケットと4ポケットのタイプがあり、4ポケットは、それぞれ独立した制御が可能なタイプと最高４つの材料の同時蒸着が可能なタイプあります。
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カタログミニeビームエバポレーター
取扱企業ミニeビームエバポレーター
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【自社開発真空部品事業】 オリジナル商品事業 自社開発商品(NW継ぎ手、フレキ関連他) オリジナル加工事業 国内・・・試作／開発製品の生産 海外・・・量産／原価低減製品の生産 【真空科学・研究用機器事業】 海外販売代理店業務 英国：oxford applied research社(VSW‐Atomtech社) 表面科学・ナノサイエンス研究機器メーカー 国内販売代理店業務 株式会社ユーテック (真空製膜装置製造メーカー) 株式会社アールバキュームラボ (電子導入端子／宇宙開発／超高真空／研究開発メーカー) 入江工研株式会社 (金属ベローズ／大型ゲートバルブを得意とする真空部品メーカー)
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