ジャパンクリエイト株式会社 スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
- 最終更新日:2012-08-22 15:41:48.0
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ジャパンクリエイト株式会社のスピンナーは数あるスピンナーの中で性能、価格に重視し開発されている製品です。研究所、学校等に使用して頂く実験用のマニュアルスピンナーです。主にシリコンウェハー(ガリ砒素、ガラス、セラミック)等のレジストコーティングをはじめとして、現像装置、エッチング装置、剥離装置、スピン乾燥装置等の応用も可能です。
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基本情報スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
【特徴】
○小型コンパクト
○オプションにて10,000rpmに可能
○膜厚が安定
【仕様】
○ワークサイズ:φ30~100mm×t1mm(φ2"~φ4")
○試料台:オプション
○カップ径・材料:φ200mm
○本体材質・寸法:SS+焼き付け塗装 W250×D300×H250mm
○スピンモーター:スピードコントロールモーター 40W
○回転数:250~5,000rpm オプション 10,000rpm
○回転表示:アナログメーター
○回転数ステップ:2ステップ
○付帯設備
→電源:AC100V 500VA 50/60Hz ±10%以内
→真空:-50Kpa.10L/min以上 φ6mm 200torr以上
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カタログスピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
取扱企業スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
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当社はウエハー洗浄機、エッチング装置、スピンドライヤー等、半導体製造装置を主としたメーカーです。又お客様のニーズに合わせて、研究用の小型機から量産用の自動装置を小回りのきく企業として製造いたします。また、これらの技術を生かしLCD.PDP.有機EL.FED.LED等の洗浄装置も開発製造いたしております。全ての商品を自社にて製造いたしておりますので、安価にて御提供することが出来ます。 【NEW】流山事業所を開設しました!!(2021年1月1日より) 流山事業所のプラズマプロセス装置事業部は、真空技術及びプラズマ技術に特化した技術者集団です。 少数精鋭ながら高い技術力で、お客様の多種多様なニーズに応えて参ります。 取扱製品:プラズマCVD装置、スパッタリング装置、蒸着装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、RTA装置、各種複合装置など 〒270-0156 千葉県流山市西平井956-1 お問い合わせ TEL:04-7150-5731 ※アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社(株式会社ユーテック,YOUTEC)からHDD、Siウエハ、ガラス基板、容器向けなどの成膜装置事業を譲り受けました。
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