ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置マック産業機器

フルオートマティックスピン洗浄装置　300mm/8インチウエハー、ガラス

本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。

基本情報ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

装置寸法 Size：　W1３00×D１８00×H2000　（300mm）/　W1100×D1400×H2000　（８インチ）
工程　Process：　カセットを手動で設置→扉を閉めて運転開始→ロボットにてカセット上部より1枚づつセンターリング部に移載→4本のシリンダーにてセンターリング→ロボットにてセンターリング部からウエハーを洗浄装置に送る→二流体洗浄・超音波洗浄・乾燥→ロボットにて洗浄装置からウエハーを排出カセットに送る
洗浄物　Cleaning stuff：　300ｍｍ及び 8インチウエハー　300ｍｍ or ８inches wafer
クリーン度　The degree of cleanliness：　クラス１００程度　About class 100
機械重量　Weight of the machine：　600kg 以内　within 600kg

価格情報	お問合せ下さい
価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください ※受注後4ヶ月
型番・ブランド名	ME-5000R
用途／実績例	ダイシング後の洗浄用途に最適携帯用カメラモジュール用

カタログME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

全自動ウエハースピン洗浄装置『ＭＥ-5000Ｒ』

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取扱企業ME-5000R 全自動ウエハースピン洗浄装置

マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

１．産業用ロボットの製造・販売。２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬　　送装置を含む半導体製造装置の製造販売３．液晶用搬送装置の製造、販売４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング　　装置の製造、販売５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター　　薄膜シリコンガラスエッチング　　CIGS用ガラス基板洗浄装置　　　等の製造、販売。