マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』ＩＢＳ

設定値入力後1秒未満で流量安定！高精度・高信頼のメタルシールモデル！

『Aera FC-R7800シリーズ』は、高精度の流量制御を行うだけでなく、
メタルシールによる優れた高い気密性を備えたシステムです。

主要なガス制御アプリケーションに適しています。

⾼感度、⾼速応答性の⼩型センサーを搭載するなど技術の進歩により、
優れた制御性を発揮します。

【特長】
■耐腐食設計
■メタルシール採用
■VCR、Swagelok互換の接続部
■10sccm～200slmのフルスケール流量レンジ
■ノーマリ・クローズ型またはノーマリ・オープン型ソレノイド制御バルブ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

【仕様(一部)】
■フルスケールレンジ：10sccm~5slm
■応答時間：1秒以下(0~100% ±2%以内Typical)SEMI E17-91
■精度：フルスケールの±1%以下
■直線性：フルスケールの±0.5%以下
■再現性：フルスケールの±0.2%以下

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報	-
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	FC-R7800シリーズ
用途／実績例	【用途】 ■半導体製造プロセス・各種検査／分析機器・内燃機関・成膜装置　燃料電池・液晶・光ファイバー・有機EL・環境計測・バイオ・食品

PDFダウンロード
お問い合わせ

取扱企業マスフローコントローラ『Aera FC-R7800シリーズ』

株式会社ＩＢＳ

流体制御機器・周辺機器の設計・製造・販売ダイアフラムポンプ、メタルベローズポンプガス発生装置（酸素、窒素、オゾン、水素）チェックバルブ、リリーフバルブ、ニードルバルブ及び圧力制御・計測機器／流量制御・計測機器／温度制御・計測機器／特殊ポンプ／分析器等、『流れ』に関わる製品を多数取り揃えております。お気軽にお問い合わせください。