【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　チルトステージ THKプレシジョン

テーブル面が傾斜するタイプのステージです。傾斜の向きが異なる２種類がございます。

ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の
調整が可能です。
レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。

圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。
弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。
回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。
圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、
高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。
構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。

単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - https://www.thkprecision.co.jp/product/piezo/45

基本情報【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　チルトステージ

【特長】
○様々な角度調整が可能
○高速・高精度スキャニング動作
○コンパクトで装置組込が容易

【仕様】※傾斜の向きが異なる２種類がございます
○PT1T60-500S
→ストローク：500nm
→分解能：0.01nm
→繰り返し精度：±0.01nm
→共振周波数：1700Hz
→本体サイズ：60×60×30mm
○PT1T38-1000S
→ストローク：1000nm
→分解能：0.02nm
→繰り返し精度：±0.02nm
→共振周波数：1090Hz
→本体サイズ：85×38×32mm

※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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型番・ブランド名	ピエゾステージ　PTチルト・回転タイプ
用途／実績例	【用途例】レーザ光軸調整精密平行面合わせ光学デバイス微小角調整チルト調整キャビティ長調整 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

取扱企業【ピエゾステージ】PTチルト・回転タイプ　チルトステージ

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。