ファイメス社　超ロングストローク・ピエゾステージ翔栄システム

超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）

超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.s-sl.co.jp/product/long/mt53lm/index.ht…

基本情報ファイメス社　超ロングストローク・ピエゾステージ

【特長】
[MT-53-PM]
○ケーブルの引き出し方向変更可能
○複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可
○エンコーダ無しオープンループ制御も可（オプション）
○真空対応可
○クリーンルーム仕様納品可
○非磁性オプション可
[MT84]
○高真空対応可
○クリーンルーム仕様納品可
○非磁性オプション可
[MT105]
○アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立可
○取付金具でZ方向も組立可
○機能的及び電気的変更のカスタム対応可
○超高真空・非磁性対応可
○クリーンルーム仕様納品可
[MT196]
○アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立可
○非接触型停止スイッチ機能有り
○高分解能リニアエンコーダーを使用することにより、
　分解能0.005μmも可
○高ガラススケール使用で高位置決め精度
○コネクタのタイプ、サイズ、ピン-アサイトメントはカスタム対応可
○真空・非磁性対応可
○クリーンルーム仕様納品可

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