株式会社エー・シー・イー 層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズ
- 最終更新日:2020-02-13 11:10:09.0
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流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能
層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。
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基本情報層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズ
【特徴】
○微少流量から大容量まで計測可能
○素子の選定により10nccmから50NLMまで対応可能
○全流方式での流量計測・制御
○流入するガスの一時的な水分混入や凝縮に強い
○高速実流量応答制御実現
○ガス系の温度・圧力情報も出力
○ガス供給系の診断に最適
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