排気圧力コントローラ　EPS5000シリーズエー・シー・イー

排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能

本排気圧力コントローラは、枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速での圧力制御を可能にしました。排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能になります。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.kk-ace.co.jp/product/a_eps5000.html

基本情報排気圧力コントローラ　EPS5000シリーズ

【特徴】
○枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による
　製造プロセスのユラギを防ぐための機器
○独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブ
→小型かつ極低圧損で高速での圧力制御が可能
○排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理
○排気ダクトの総流量・圧力管理で、大幅なエネルギーコストの削減が可能

【仕様】
○排気配管：150A、125A、65Aへ対応
○調整圧力（一次側）：－50～－999Pa
○流量：10ｍ3/分へ対応（150Aの場合）
○応答速度：2秒以内
○圧力損失：10Pa以下（最大流量時）

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用途／実績例	【用途】 ○枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御 ○クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 ○排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス ○液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール ○クリーンブース内の排気圧力コントロール ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。