吸着テーブル　ポーラスカーボンチャックマック産業機器

ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適

「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター、スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置に適しています。
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関連リンク - http://www7.ocn.ne.jp/~mac/25.html

基本情報吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

【特徴】
○多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能
○フィルム等薄い材質でも吸着可能
○耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着が可能
○導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能
○各種サイズ、形状に対応可能
○ワーク：200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルム

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用途／実績例	【用途】 ○ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター ○スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

取扱企業吸着テーブル　ポーラスカーボンチャック

マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

１．産業用ロボットの製造・販売。２．半導体試験装置、半導体検査及び半導体搬　　送装置を含む半導体製造装置の製造販売３．液晶用搬送装置の製造、販売４．枚葉式スピン洗浄装置、スピンエッチング　　装置の製造、販売５．太陽電池用シリコンウエハセパレーター　　薄膜シリコンガラスエッチング　　CIGS用ガラス基板洗浄装置　　　等の製造、販売。