自動楕円偏光解析装置　レーザーエリプソメータMARY-102 ファイブラボ

小型・低価格・高精度・使い易さを追求した自動楕円偏光解析装置。

レーザーエリプソメータMARY-102はレーザー光による偏光解析法を用いてシリコンやガラス基板の光学特性、又はそれらを基板上の薄膜の膜厚や光学特性（屈折率など）を測定します。MARY-102は、ファイブラボ株式会社の光計測技術を基に、小型・低価格・高精度・使い易さを追求して開発されました。シミュレーション機能等を充実させた研究用ソフトウェアの他に、ルーチン作業に適した工業用ソフトウェアもご選択いただけます。測定方式に回転位相子法を採用している為、回転検光子法では測定しにくいデルタの領域も位相板の出し入れ無しで高精度に測定でき、ゾーン判定もすばやく行われます。
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.5lab.co.jp/MARY102.html

基本情報自動楕円偏光解析装置　レーザーエリプソメータMARY-102

【特徴】
○高解析力
○回転位相子法を採用
○高再現性
○高速測定
○豊富なオプション

【仕様】
○測定方式：回転位相子法（RQ法）
○光源：0.8 mW　HeNeレーザ（λ＠632.8nm）
○入射角：自動可変、手動可変あるいは固定（任意）
→自動の場合 45°～90°
→0.01°刻み
○測定時間：最小 0.05 秒
○寸法：300W×400D×450H mm

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型番・ブランド名	MARY-102
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