分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-103 ファイブラボ

サンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能！

分光エリプソメータMASS-103は、古くから多くの実績を誇る MASS-102シリーズの改良シリーズです。分光器を1024分割の2 次元CCDを用いることにより、波長分解能はそのままに測定時間が飛躍的に短くなりました。103シリーズはサンプル水平置きタイプで、多彩なサンプルに対応が可能となっています｡（従来のゴニオ型“104シリーズ”もあります。）また、分光解析ソフト“SCOUT”をオプションで用意しています｡ファイブラボ株式会社の解析ソフトを補い、より解析力がアップしました｡
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.5lab.co.jp/ellipso.html

基本情報分光楕円偏光解析装置　分光エリプソメータMASS-103

【特徴】
○高精度測定I
→測定方式に回転位相子法を採用
→測定値Δ（位相差）の値に依存せず､どの領域でも高精度測定を実現
○高精度測定II
→位相板は専用の広帯域位相板を使用
○波長分解能
→モノクロメータは1024分割2次元CCD採用のマルチチャンネル対応を使用
○解析力
→分光解析ソフトウエアー“SCOUT”を標準装備
○再現性
→オプティカルエンコーダとホールモータの組み合わせにより高再測定を実現
○信頼性
→校正時、NIST基準の数種の膜厚のSiO2/SIサンプル
→2種のガラス基板の光学定数測定

【仕様】
○測定方式：回転位相子法
○光源：150Ｗ Ha ランプ
○ビーム経：約φ1～5mm
○入射角：約70・60・50 度手動可変
○波長領域：380～900nm
○波長分解能：0.75nm

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型番・ブランド名	MASS-103
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