Datapaq 薄膜プロセス/真空プロセス専用温度測定システム
Datapaq 薄膜プロセス/真空プロセス専用温度測定システム http://www.ipros.jp/public/product/image/c43/2000143814/IPROS5966339064174069252.JPG Datapaq社ではこれまで各種産業向けに温度測定システムを提供しておりましたが、真空中の薄膜プロセス向けに特化することで体積比で最大80%以上小型化した耐熱ケースを開発しました。これにより、これまで寸法的にDatapaq社製品を使用することが困難だった装置・プロセスにおいて使用することが可能になりました。小型なため、条件によっては内部で回転する構造の装置でもご使用頂けます。製品の実温度を測定することで、より厳密なプロセス管理が可能になり、製品品質の向上に貢献いたします。また真空装置メーカー様では、製品開発・組立後の調整、客先での装置据付調整での温度測定作業の簡略化にも大きく貢献いたします。 テクノアルファ株式会社 測定・分析 > 温湿度測定器 > 温湿度関連測定器
  • 薄膜プロセス中の製品の温度測定に専用設計された温度測定システム
    テクノアルファ株式会社
    イギリスDatapaq社が開発した薄膜プロセス・真空プロセス専用の小型温度測定システムです。ロガーを熱から守る耐熱ケースの小型化に成功し、既存品では寸法的な制約から使用することができなかった様々な成膜装置等において、サンプルの温度測定を実現します。

基本情報Datapaq 薄膜プロセス/真空プロセス専用温度測定システム

Datapaq社ではこれまで各種産業向けに温度測定システムを提供しておりましたが、真空中の薄膜プロセス向けに特化することで体積比で最大80%以上小型化した耐熱ケースを開発しました。これにより、これまで寸法的にDatapaq社製品を使用することが困難だった装置・プロセスにおいて使用することが可能になりました。小型なため、条件によっては内部で回転する構造の装置でもご使用頂けます。製品の実温度を測定することで、より厳密なプロセス管理が可能になり、製品品質の向上に貢献いたします。また真空装置メーカー様では、製品開発・組立後の調整、客先での装置据付調整での温度測定作業の簡略化にも大きく貢献いたします。

価格

-
※お問い合わせください

価格帯

納期


※1~3か月

発売日

取扱い中

用途/実績例

ディスプレイパネル、スマートフォン等の電子デバイス向けガラス、太陽電池パネル・ガラス、レンズ、メガネ用レンズ、フィルム等への薄膜形成プロセス(蒸着、成膜、スパッタリング等)、その他真空プロセス

よく使用される業種

民生用電気機器、電子部品・半導体、エネルギー

取扱会社Datapaq 薄膜プロセス/真空プロセス専用温度測定システム

半導体・電子部品業界向け製造装置、電子材料、環境関連機器・材料、舶用機器の輸入販売。主力製品は、車載デバイス分野で世界シェアトップの米国オーソダイン社製アルミ線ワイヤボンダ。

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