342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズジェーイーエル

真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能

342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報342mmサセプタ対応真空アライナ　SVAL30D1シリーズ

【特徴】
○ワーク(トレイ)重量4kgまでのアライメントが可能
○2軸磁性流体式フィールドスルー、溶接ベローズ搭載
○耐真空限定反射型ファイバセンサを搭載
→アライナ単体での設置が可能
→チャンバの設計自由度が高まる
○トレイ接触部材質はPEEK、Oリング(バイトン)
○トレイ接触部材質、形状のカスタマイズに対応
○トレイ内のウェーハ配置状態に合わせて任意の角度に旋回

【仕様】
○被搬送物：φ342mm トレイノッチ仕様重量 5kg以下
○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　ノッチロケート:±0.3度以内
○位置決め時間：ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合)
○センサ：耐真空限定反射型ファイバセンサ
○耐真空度：1.33x10＾-6Pa
○駆動方式：エンコーダ付き２相パルスモータ
○ユーティリティ：電源：DC24V 7A

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。