[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。
真空チャンバーにそのまま導入可能です。
動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。
自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。
基本情報真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、
リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現
○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能
○テーブルサイズ：80mm×80mm
○テーブル移動量：40mm
○対応真空度：10-４Pa
○耐荷重：49N
○最小分解能：1nm
○最大移動速度：２mm/sec
○対応コントローラ：FC-911
□ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FS-1040UPX(V) |
| 用途／実績例 | X線利用技術（放射光の集光等） 半導体関連（描画範囲のつなぎ合わせ等） 様々な先端研究に使用されています。 |
カタログ真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
取扱企業真空対応1nmフィードバックステージFS-1040UPX(V)
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■光学基本機器製品 ベース、ホルダー、ステージ他 ■光学素子・薄膜製品 ミラー、ビームスプリッター、フィルター、レンズ、プリズム、ポラライザー、レーザ結晶、非線形結晶、基板、他 ■自動応用製品 自動位置・姿勢決め装置、光計測器・制御装置、計測・制御ソフトウェア ■レーザシプロセッシングしシステム レーザ加工機（集光光学系）、レーザ加工機（すきゃにん光学系）、LED照明装置、レーザダイオード駆動電源 ■医療・バイオ関連製品 光ピンセット・IR-LEGO、顕微鏡用自動ステージ、コアユニット顕微鏡 ■計測・検査・評価 変異センサーユニット、オートフォーカスシステム、ズームマイクロスコープ
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