機能水製造装置
機能水製造装置 http://www.ipros.jp/public/product/image/162/2000164506/IPROS5622068967213881248.JPG 近年、環境に対する配慮や法的規制、安全管理面などへの対応が注目されています。 半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD) 、太陽電池、MEMS等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。 薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献します。 「オゾン水装置」 オゾンガスを溶解させたクリーンで立上りの速いオゾン水を供給します。 独自の技術で、150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能です。 オゾン水濃度計、環境オゾンガス検知器を標準装備しております。 「水素水装置」 水素ガスを溶解させたクリーンな水素水を供給します。 水素水濃度計、環境水素ガス検知器を標準装備しております。 「超純水帯電防止装置」 超純水中に定量的に炭酸ガスを溶解させ、超純水の電気比抵抗を正確にコントロールし、半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電障害を防止します。 その他、「酸素水装置」「窒素水装置」なども取り扱っております。 機能水を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、企業・製品のイメージアップにもつながります。 日東機器ファインテック株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置
  • 薬品洗浄の代替えとして注目!従来の超純水にはない洗浄効果を発揮!
    日東機器ファインテック株式会社
    「薬液使用量を減らしたい」「排水処理負荷を減らしたい」
    など、これらのニーズに対応する機能水製造装置です。
    純水に特定のガスを溶解させた付加価値のある純水を提供いたします。
  • オゾン水装置
    オゾン水装置

基本情報機能水製造装置

近年、環境に対する配慮や法的規制、安全管理面などへの対応が注目されています。

半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD) 、太陽電池、MEMS等の洗浄工程における薬品洗浄の代替えとして利用されています。
薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献します。

「オゾン水装置」
オゾンガスを溶解させたクリーンで立上りの速いオゾン水を供給します。
独自の技術で、150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能です。
オゾン水濃度計、環境オゾンガス検知器を標準装備しております。

「水素水装置」
水素ガスを溶解させたクリーンな水素水を供給します。
水素水濃度計、環境水素ガス検知器を標準装備しております。

「超純水帯電防止装置」
超純水中に定量的に炭酸ガスを溶解させ、超純水の電気比抵抗を正確にコントロールし、半導体製造のダイシング工程やFPD製造の高圧洗浄工程における各種静電障害を防止します。

その他、「酸素水装置」「窒素水装置」なども取り扱っております。

機能水を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、企業・製品のイメージアップにもつながります。

価格

-
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価格帯

納期

発売日

取扱い中

用途/実績例

・基板上の有機物や金属汚染の除去
・レジスト剥離
・表面改質(濡れ性向上)
 対象:Siウェハ、液晶ガラス、マスク、MEMS、GaAs、SiC等
・静電破壊や微粒子の再付着を防ぎ、歩留まり向上

よく使用される業種

電子部品・半導体

カタログ機能水製造装置

  • 「薬液使用量を減らしたい」「排水処理負荷を減らしたい」
    など、これらのニーズに対応する機能水製造装置です。
    純水に特定のガスを溶解させた付加価値のある純水を提供いたします。

取扱会社機能水製造装置

1、精密フィルタ 2、粉粒体処理機械 3、超純水製造装置 等 上記、機械・機器・装置及びその部品の販売並びに機械器具設置業

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