＜Ｑ＆Ａ集付＞ 手元に欲しい一冊！
9,500円+税 普及価格にてご提供！
★薄膜を取扱ための必携本！
★できるだけ簡単な数式を使用し説明！
★現場トラブルを解決する30以上のＱ＆Ａ付き！
●表面・界面を評価、分析するポイント！
●現場では聞けない＆聞く人がいない
●膜の剥離・剥がれ・割れにはどう対応するの？
●良質の膜とは、その作製法とは！
●薄膜プロセスによる応力の発現機構を理解！
基本情報【書籍】薄膜の応力・密着性・剥離トラブルハンドブック
発刊 2007年10月 定価 9,500円 + 税
体裁 B5判 225ページ ISBN 978-4-901677-86-8
※詳細な内容につきましては、カタログをダウンロードください※
| 価格帯 | ~ 1万円 |
|---|---|
| 納期 | 2・3日 |
| 用途／実績例 | 執筆者 荒川化学工業(株) 新事業企画開発部 主任研究員 岩村 栄治 先生 ◆◇Ｑ＆Ａの一部例◆◇(巻末掲載) ●応力基礎 ・膜の密度は応力には関係ないのでしょうか？ ・ガス不純物の混入により応力はどうなりますか？ ・メッキ膜の応力発生機構は気相形成膜と異なりますか？ ●密着力基礎 ・膜厚が数十μｍや数百μｍになったときに密着性に関する取扱はどのように変わりますか？ ・樹脂材料を用いた場合に使われる接着力と薄膜での密着力とは同じものでしょうか？ ●成膜プロセス ・プラズマを利用して成膜でのプラズマパラメータの測定はどのようにしたらよいのですか？ ・成膜速度はどのような成膜パラメータと関係しているのでしょうか？成膜速度は膜応力へどのような影響をおよぼしますか？ ・応力や密着力のバラツキをなくすような品質管理の手法はありますか？ ●剥離・密着性改善 ・薄膜にクラックが生じました。どのように対処すればよい？ ・金属スパッタ膜間の密着性のバラツキはどうしておこるのでしょうか？ ●その他トラブル ・膜応力によってデバイス特性や膜特性が変化することがありますか？ |
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