株式会社ハイテック・システムズ 量産用バッチ式ALD装置
- 最終更新日:2022-12-28 17:48:31.0
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バッチ装置 複数のカセットを同時成膜、大きな3D基板成膜が可能です。
ハイテックシステムズは、ALD(Atomic Layer Deposition)装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の販売代理店です。
Veeco/CNT社は米国Veeco社のALD(Atomic Layer Deposition)事業部門で 先端のALD(原子層堆積)技術開発を行い、世界の研究機関、大学、企業にて最も使われている開発用、量産試作用、ALD装置のメーカーです。量産用ALD装置、大面積基板ALD装置についても市場にて実績があり、ご要望に対応しております。
基本情報量産用バッチ式ALD装置
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします!
●バッチ装置 複数のカセットを同時成膜、大きな3D基板成膜が可能です
(100mm~200mmウエハ 100枚/バッチ、300mmウエハ 12枚、2.5世代角基板 5枚)
●高精度の均一な膜を短いサイクルタイムで処理
本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | Phoenix |
用途/実績例 | ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。 |
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