【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置アールエムテック

【デモ実施中！】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置

「小型実験用イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。
Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表面温度80℃以下での処理が可能です。
微細加工に最適です。

【特徴】
●有毒ガスを使用しないため、排ガス処理不要
●エンドポイントディテクター搭載可能
●イオンビームエッチング装置、イオン源、イオンビーム技術の
　お問合せやご質問、デモンストレーションについては
　お気軽にご相談ください。

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

関連リンク - http://www.osi-ind.co.jp

基本情報【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

【仕様】
●エッチング用イオンソース
　DC 11cm イオンソース
　SOLUS　POWER　SUPPLY
●真空チャンバー
　到達圧力　6.0×10-5Pa台
　動作圧力　3.0×10-2Pa台
●シングルステージ
　水冷機構
　3軸動作　自転・入射角度・円弧移動
　不定形基板からMax 6inchiまで選択可能
●排気系
　主排気　TMPまたはCryo-pump
　粗引き　ドライポンプまたはロータリーポンプ

その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

価格情報	詳細はお問合せ下さい
納期	お問い合わせください
用途／実績例	その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問合せ下さい。

カタログ【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

小型実験用イオンビームエッチング装置

PDFダウンロード

取扱企業【デモ実施中！】小型実験用イオンビームエッチング装置

アールエムテック株式会社

真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。