薄膜材料　タングステンプランゼージャパン

あらゆる金属中で融点が最も高いため、コーティング層が安定します。

タングステンは、あらゆる金属中で融点が最も高いため、コーティング層が安定します。
高温下で融点の低い材料の薄膜を作ると材料が拡散し、隣接層と混合することがあります。
タングステンでは、その様なトラブルが避けられます。
プランゼーでは世界最大の高融点金属用熱間圧延機を用いて、最大のタングステンスパッタリングターゲットを作るのに成功しました。
最大化がもたらす利点は、コーティングプロセスの安定化と膜自体の品質向上です。

【特徴】
○高い材料純度
○密度も最大
○均質な結晶構造
○製造はすべて一元管理
○高品質を安定供給

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関連リンク - http://www.plansee.com/jp/

基本情報薄膜材料　タングステン

【特徴】
○高い材料純度
→プランゼーのタングステンターゲットは純度99.97%以上を保証
○密度ほぼ100%
→スパッタリング工程で導電性が向上し、成膜速度の短縮化が可能
○均質な結晶構造
→粉末冶金法で、コーティング材料の微細構造を調整することが可能
→一定した成膜速度で均質な層を実現
○最適なコーティングを追求
→新しいコーティング材料の開発期間を最小限に短縮可能

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