低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。
超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。
徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。
【特徴】
○高効率排気システム
○低パーティクル仕様（オプション）
○高精度膜厚制御システム
○高出力・大面積照射イオンソース
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基本情報超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」
【特徴】
○IRカットフィルターの20バッチ連続成膜においても
ヘーズ値（濁度）の増加を最小限に抑えられている
○排気・ベント手法の適正化・蒸発源近傍の防汚対策・電子銃の
チューニングを行うことにより低パーティクル化を実現している
○Sapioに専用設計した高出力RFイオンソースを搭載することにより、
多層光学フィルターから、樹脂フィルムまで幅広く高品質化が可能
○独自のアプローチによりニュートラライザーの着火性能を確実にし、
安定した稼働が可能
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| 用途／実績例 | 光学膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログ超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」
取扱企業超高性能光学薄膜用蒸着装置 「Sapio 1300/1550」
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