射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES 昭和真空

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。
射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。

【特徴】
○全自動
○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm）
○高い密着度
→アンダーコート無しでも高密着力が得られる

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関連リンク - http://www.showashinku.co.jp/product/new_SPPseries…

基本情報射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

【仕様】
○最大基板寸法　W180×L340×D150mm
○基板材質　PC, PET, PP, PE 等
○スパッタレート：10nm/sec
○排気速度　0.1paまで30sec
○排気系　RP＋TMP
○生産サイクルタイム：基板投入から成膜、重合、取り出しまで約80sec以下
○反射率：85％以上、KOH　１％　10min
○SP室＋重合室　2室構成
○スパッタ室：高使用効率型カソード
　（ターゲットサイズ440×240mm）、30kW　DC電源
○重合室：グロー放電式重合電極×1　750W　RF電源
○スパッタ材料：Al等
○重合ガス：HMDSO(SiOx用）等

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用途／実績例	【用途】 ○自動車ヘッドランプリフレクター ○ミラー ○金属装飾膜 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログ射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ]　SPP-SERIES

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取扱企業射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの　総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、　ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金（溶解、熱処理、燒結、　脱ガス）装置、光学薄膜用モニター（多色式、単色式）、　IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他