入江工研株式会社 XYテーブル

磁気結合式直進回転導入機(MFL)を取り付ける際の軸差および角度調整に!

磁気結合式直進回転導入機(MFL)を取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。

基本情報XYテーブル

ベローズ式シール機構
コンフラットフランジをラインナップ
XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 高真空領域まで使用可能です

取扱企業XYテーブル

IKC bellows.jpg

入江工研株式会社

半導体・FPD製造装置に使用される真空用金属ベローズをはじめ、真空ゲートバルブ、真空チャンバ−、導入機など、真空装置付属機器分野で数多くの製品を提供しています。

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