株式会社ノダRFテクノロジーズ 【Mbox内蔵型高周波電源】/750W 13.56MHz
- 最終更新日：2015-07-06 13:02:42.0
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1.ローコスト 2.省電力 3.コンパクト設計
独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。
従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。
基本情報【Mbox内蔵型高周波電源】/750W 13.56MHz
【特徴】
1.ローコスト
・高周波電源の内部に整合器を内蔵することによって、低価格化を実現
・高周波電源を整合器の位置に設置できるため、高周波電源を納めていたラック等も不要
・高周波電源‐整合器間のケーブル、整合器給電用ケーブルも不要
2.省電力
・NRM075A-01では、高効率アンプを採用し、AC-RF変換効率70％以上を実現
・高周波電源‐整合器間のケーブルが不要の為、ケーブルの抵抗によるロスなし
3.コンパクト設計
・整合器が内蔵されているタイプとしては、従来タイプの1/2サイズに
・ローカル制御は遠隔操作のハンディコントローラで可能。リモート制御はアナログI/O及びシリアル通信が可能な為、複雑なケーブル配線も不要
※出力は同軸ケーブルと銅板の2タイプを用意致しております
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | NRM075A-** |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置等、様々の業界でご採用頂いております |
取扱企業【Mbox内蔵型高周波電源】/750W 13.56MHz
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【営業品目】 ●プラズマ発生用高周波電源 ・プラズマ発生用マッチングボックス ・プラズマ発生用マッチングコントローラ ・大気圧プラズマ発生用電源 ・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器 ・VDC/VPP表示ユニット ・VDC/VPPコントローラユニット ・位相シフター ・分配器 ・ＲＦカットフィルター
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