高粘度用スリットコータドリーメックステクノ

スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。

「高粘度用スリットコータ」は、スリットノズル、高精度吐出ポンプを高粘度対応化したスリットコータです。
ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に適しています。
高粘度液の粘度特性を利用し、スリットノズル、高精度ステージを加熱した高精度塗布を実現。
スリットノズル先端の自動洗浄機能により生産性を向上させることができます。

【特徴】
○均一性に優れた塗布精度の高いレジスト塗布装置
○ポリイミドワニス、接着剤、UV硬化型樹脂など高粘度液に最適
○スリットノズル先端の自動洗浄機能で生産性向上
○塗布均一特性を維持向上しながらレジスト液の消費量を削減
○優れた操作性・メンテナンス性

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関連リンク - http://www.dreamex.co.jp/seihin.htm

基本情報高粘度用スリットコータ

【塗布テスト】
[テスト環境]
○ワークサイズ 400 mm×500 mm （最大）
○粘度 1000 cp ～10000 cp
○塗布膜厚～500 ㎛ (WET)
○塗布環境　クリーンルーム (ステージ上：class 100 相当)
　　　　　　減圧乾燥装置、焼成装置、目視検査照明、膜厚測定装置
[加熱（加温）タイプ]
○ワークサイズ 200 mm×200 mm（最大）
○温度設定 100 ℃（最大）

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