洗浄力が高く評価されているOEL-Cleanシリーズの使用とそれを活用する多くのノウハウでメタルマスクに蒸着された有機材料を確実に制御でき、新品マスクと変わらない品質に仕上げます。
安全、安心、環境、洗浄精度、経済性、生産性を最大限に取り入れました。
リンス・乾燥には不燃性溶剤のHFEを使用する為、安全です。
HFE溶剤も蒸留機とHC/HFE分離装置により、洗浄液とHFE溶剤は新液として蘇り、再利用されます。
【特徴】
○薄膜のマスクは熱応力に弱く、
熱ストレスを無くすために常温で洗い上げることでこれを実現
○蒸留機の搭載により、洗浄液は新液として蘇り、汚れ成分は
凝縮して少量の廃液として排出するため、従来の全量液交換は不要
○有機ELガラス基板の洗浄装置も開発
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基本情報洗浄装置 「有機ELマスク洗浄装置」
【特徴】
○洗浄方式は独特の “コ・ソルベント方式”を基本としている
○洗浄工程では有機ＥＬの蒸着工程でメタルマスクに付着した有機材を
完全に、そして素早く溶解・除去することの出来る
炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）を選定している
○洗浄後のメタルマスクは非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）でリンス乾燥する
○洗浄で使用します炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）は、内蔵されている
真空蒸留装置で溶解した有機材を蒸留分離し排出後、洗浄工程へ戻る
○洗浄工程から搬出されたメタルマスクはリンス・乾燥工程へと送られる
○リンス工程が終了したメタルマスクは真空乾燥工程（低真空）へと送る
○全工程を通じては常温で洗浄を行っており、
温度によるメタルマスクへのストレスは全くない
○本洗浄装置で使用します炭化水素系洗浄溶剤（ＨＣ）・
非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）は全て蒸留装置・溶剤回収装置等を
経由し、再利用される為、ランニングコストが極端に低減される
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