株式会社クボタ計装 ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!

『Laser Explorer』は、透明ウェーハにも対応した、
最新型のウェーハ表面欠陥検査装置です。

高出力レーザーが、スクラッチ・ピット・パーティクルなどの微小欠陥を検出!
ウェーハの出荷・受入検査や、エピタキシャル工程の品質管理に活用いただけます!

【その他の特長】
■高スループット(1カセット25枚を、約40分で検査)
■欠陥の凹凸を弁別
■全数オートフォーカス
■カスタマイズ対応
■1カセット自動検査対応
■欠陥に対する高精度マーキング(オプション)
■レーザー顕微鏡による欠陥レビュー(オプション)

基本情報ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

【主な仕様】(型式:LE-W1)
検出方式  :レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式
検出欠陥  :パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等
対象素材  :Si、SiC、GaN、LT、サファイア等
対象サイズ :2、4、6、8インチ (その他、別途ご相談)
検査時間  :約90秒/枚(4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む)
レーザー波長:405nm
検査ピッチ :5~30μm
結果出力  :マップ、種類別グラフ、リスト、サイズ分類
機器寸法  :W 1800×D 990×H 1490(mm)

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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用途/実績例 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

取扱企業ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

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株式会社クボタ計装

クボタは、ロードセル(荷重センサ)を基幹技術に80余年におよぶ計量・計測の経験を生かした製品群を提供しております。 【取扱製品】  ・デジタルロードセル  ・LPG充填シリーズ  ・台はかりシリーズ  ・指示計  ・トラックスケールシリーズ  ・粉粒体機器  ・防爆はかりシリーズ  ・廃棄物計量システム  ・ホイストスケール(吊りはかり)

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