半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」オーエヌ総合電機

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。
発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。
使用不可となった薬液（フッ酸、塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。
クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。

【特徴】
○薬液槽、及び純水槽にはＮ２ガス散気システムを装備
○バブリングにより各液体の混合と高レベルの洗浄効果を発揮
○薬液槽はすべてPVC製トレイ上に設置
○アセトン槽にはSUS製トレイを設け、液ダレやオーバーフロー、
　排水への薬液混入に対処

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基本情報半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

【概要】
○処理工程プログラムは、10パターンを任意で設定可能
○複雑な処理工程も、多彩なワークで対応
○自動消火システムと炎検知センサーにより、万が一の発火にも、
　CO2ガス噴射ですばやい消火が可能

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カタログ半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

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取扱企業半導体関連装置「ウェット式エッチング装置」

オーエヌ総合電機株式会社

【営業品目】［設計・製作］ ○各種分析装置　ＣＯＤ自動測定装置、自動滴定装置、パルプ関連分析装置等 ○化学機器設備　実験用小型プラント、新素材開発用設備、評価装置、　小規模化学設備等 ○研究開発用設備　新素材開発実験装置、実証評価装置等 ○原子力関連装置　活性炭効率試験装置、原子炉壁面除洗機等 ○半導体関連装置　自動エッチング装置、薬液計量供給装置等 ○計測制御応用装置　ガス混合供給装置、温度計測制御システム等 ○薬液制御装置　シミュレータ、各種監視システム　等 ○その他　粉体制御装置、自動搬送システム、各種実験装置［機器販売］ ○電気計器、工業機器、環境測定器、制御部品、電設資材、　理化学機器 ○各種センサー加工品（SUS製缶加工、樹脂材加工、ガラス製品加工） ○メンテナンス（測定器・分析計等の現場保守点検、および修理）