半導体関連装置「レジスト液加温塗布装置」オーエヌ総合電機

純水1/4RC　圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置

「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。
お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。

【材質】
○本体　：鋼板製
○塗布部：塩ビ製

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基本情報半導体関連装置「レジスト液加温塗布装置」

【標準仕様】
○ユ－ティリティ　純水1/4RC　圧縮空気1/4RC　排水1/4RC
○外形寸法　　　　W800×H1500×D500
○電源　　　　　　AC100V　10A

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カタログ半導体関連装置「レジスト液加温塗布装置」

半導体関連装置「レジスト液加温塗布装置」

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取扱企業半導体関連装置「レジスト液加温塗布装置」

オーエヌ総合電機株式会社

【営業品目】［設計・製作］ ○各種分析装置　ＣＯＤ自動測定装置、自動滴定装置、パルプ関連分析装置等 ○化学機器設備　実験用小型プラント、新素材開発用設備、評価装置、　小規模化学設備等 ○研究開発用設備　新素材開発実験装置、実証評価装置等 ○原子力関連装置　活性炭効率試験装置、原子炉壁面除洗機等 ○半導体関連装置　自動エッチング装置、薬液計量供給装置等 ○計測制御応用装置　ガス混合供給装置、温度計測制御システム等 ○薬液制御装置　シミュレータ、各種監視システム　等 ○その他　粉体制御装置、自動搬送システム、各種実験装置［機器販売］ ○電気計器、工業機器、環境測定器、制御部品、電設資材、　理化学機器 ○各種センサー加工品（SUS製缶加工、樹脂材加工、ガラス製品加工） ○メンテナンス（測定器・分析計等の現場保守点検、および修理）