加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に
ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。
基本情報ウェーハシュータ(SWU-01型)
・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。
・テフロンカセットは4個セットできます。
・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | SWU |
用途/実績例 | 半導体業界よりご注文を頂いております。 |
取扱企業ウェーハシュータ(SWU-01型)
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