株式会社フォトンデザイン SiC半導体評価装置「SemiScope」
- 最終更新日:2016-03-01 13:43:49.0
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フォトルミネッセンス(PL)イメージング法を用いたSiC半導体評価装置
「SemiScope」は、1μm以下の分解能でフォトルミネッセンス(PL)画像を測定することができるPLイメージング装置です。
試料を移動させながらイメージング測定を行うタイリング機能を用いることで、約33億画素の解像度で6インチウェハ全面のPL画像を得ることができます。
SiCウェハの結晶欠陥を可視化。非接触・非破壊検査がPLイメージング法で短時間測定可能です。
【特徴】
○SiC半導体評価装置
○SiCウェハの結晶欠陥を可視化
○非接触、非破壊検査
○PLイメージング法のため短時間測定が可能
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基本情報SiC半導体評価装置「SemiScope」
【ラインナップ】
○高速PLイメージング装置 SemiScope PLI-SR
→量産工程装置を目指し、フォトンデザインのPLイメージング技術と
高速化技術とを融合
○PLイメージング装置 SemiScope PLI-200
→SiC評価用PLイメージング装置の標準モデル
○PLスペクトル・イメージング装置 SemiScope PLIS-200
→PLイメージング測定機能に加え、結晶欠陥部のスペクトルを
測定することができるSiC半導体用PLイメージング装置
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