サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』シリコンセンシングシステムズジャパン

MEMSデバイス試作から量産まで！お客様の未来創りをMEMS技術でお手伝い

シリコンセンシングのMEMSファンドリは1999年創業以降の自社MEMSジャイロセンサの生産実績を生かし、お客様のニーズにお応えしたMEMS開発・生産受託を行います。
PZT圧電薄膜、Si深掘りエッチング、ガラス加工、ウエハ接合など、自社ジャイロ製品へのユニークな要素技術開発にて培った豊富なノウハウを生かし、お客様をサポートいたします。

【サービス紹介】
○PZT圧電薄膜成膜・エッチングサービス
○ガラス加工請負
○ウエハレベルパッケージ(WLP)
○Si深掘りエッチング(DRIE)サービス
○ALD成膜サービス

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.sssj.co.jp/services/foundry-services/in…

基本情報サービス紹介『MEMSファンドリーサービス』

【主要加工プロセス】
○エッチング
→Si深掘り　Deep RIE
→ドライエッチング
→ウェットエッチング
○成膜
→PZT圧電薄膜
→金属膜
→絶縁膜
○酸化、拡散
→熱酸化
→アニール
○ガラス加工
→ブラスト加工
→ガラスエッチング
○フォトリソ
→レジスト塗布
→ミラープロジェクション露光
→コンタクト／プロキシミティ露光
→現像
→ドライフィルム
○接合
→陽極接合（封止可）
→ウエハ接合
○加工
→ダイシング
→バックグラインド
○評価

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	【センサ・MEMSデバイス応用事例】 ○インクジェットヘッド ○マイクロフォン ○マイクロポンプ ○ジャイロ ○加速度センサ ○超音波センサ ○RF ○MEMS ○MEMSミラー ○オートフォーカス ○振動発電 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。