「SiCとは？」フェローテックホールディングス

半導体、産業機械、原子力、航空宇宙分野に最適！高性能な化合物“SiC”

SiC（Silicon Carbide ：炭化ケイ素）はシリコン（Si）と炭素（C）が1対1で結合した化合物で、隕石中にわずかに確認されているだけで、天然にはほとんど存在しません。
SiCはセラミックスに分類され、その高硬度、耐酸化性、化学的安定性、耐熱性などの特徴から、古くから研磨剤や耐火材、発熱体などに用いられてきました。近年では半導体素子製造工程で用いられるウェハボートやチューブ、シリコンウェハの代替となるダミーウェハなど、主に高温で使用される治具として広く活用されています。

【特徴】
○化学的に安定している
○酸化しにくい
○熱に強い
○硬い

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関連リンク - http://www.admap.co.jp/sic.html

基本情報「SiCとは？」

【アドマップのSiC】
○アドマップではCVD法でSiCを製造している
○CVD法によるSiCは緻密で高純度であるという特徴がある
○アドマップが提供するのはβ-SiCと呼ばれる3C構造のSiC
→3C以外はすべてα-SiCに分類される
○SiCは六方晶（2H,4H,6H）、立方晶（3C）、菱面体晶（15R）など
　様々な結晶多形を持っている

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取扱企業「SiCとは？」

株式会社フェローテックホールディングス

装置関連事業太陽電池関連事業電子デバイス事業【取り扱い製品】 ○真空シール ○石英製品 ○セラミックス製品 ○半導体用シリコンインゴット ○シリコンウェーハ加工 ○シリコン単結晶引上装置 ○シリコン多結晶製造装置 ○角切りソー装置 ○石英るつぼ ○角槽るつぼ ○太陽電池用シリコンインゴット ○太陽電池用ウェート ○サーモモジュール ○磁性流体 ○装置部品洗浄 ○工作機械 ○ソーブレード ○表面処理