常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能！】

難分解性のPFCガスも処理可能！バーナー・ヒータ式に比べて消費電力２０％削減

クリーン・テクノロジー株式会社

サンダーは、従来の処理装置では難しかったCF4ガスやSF6ガスなどのPFCガスも処理できる排ガス処理装置です。新技術のプラズマバーナー方式でバーナー・ヒータ方式に比べて消費電力を２０％削減。ランニングコストを最小限にしながら
除害能力を最大限まで高めました。また、プラズマリアクタと水スクラバを1つのユニットにして省スペース化を実現。小型で幅広いガスに対応した排ガス処理装置です。
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常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能！】　基本情報

【特徴】
○既存の除害装置では、処理が困難であったCF4ガス、SF6ガス等のPFCガスに対応
○ランニングコストを最小限に抑えながら、除害処理能力を最大限に引き出した、最新鋭の装置
○特許出願中のプラズマバーナ方式で安定したプラズマを供給
○従来の常識を打ち破る省スペースを実現
○シンプルな構造で、高いメンテナンス性能
○バーナ式やヒータ式に比べて約1/5の用力費削減
○ユニットは4chでバックアップを確保

【仕様】
○リアクタ数：1～4
○寸法（mm）：730（Ｗ）×800（Ｄ）×1600（Ｈ）
○概算重量（kg）：400～520
○用力給水（L/min）：1～4 － 4～16
○用力電力：3Φ200Ｖ(MAX17kVA)～3Φ200Ｖ(MAX38kVA)
○フランジロ径：処理ガス・入口・出口ともにC-PVC NW40
○処理ガス：CF4、SF6、C2F6、C3F8（NF3等）

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

価格帯	その他
納期	お問い合わせください ※お問い合わせください
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	サンダー
用途／実績例	【用途】 ○OXIDE-ETCHやLP・PE-CVD等で使用されるプロセスガスとPFCガス（CF4・SF6等）の処理 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
よく使用される業種	化学、樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、ソフトウェア、医薬品・バイオ、建築・土木・エンジニアリング、製造・加工受託、医療・福祉、教育・研究機関、官公庁、サービス業

常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能！】のカタログ

常圧プラズマ式排ガス処理装置　サンダー

独自開発のロングアークプラズマを利用した常圧プラズマ式排ガス処理装置

【特徴】
■省スペース
　プラズマリアクタと水スクラバを一つのユニットに収めることで
　950（W）×900（D）×1800（H）の省スペースを実現
　さらに、筐体内に最大2リアクタまで搭載可能
■ロングアークプラズマによる処理
　独自開発の空間内に発生させたロングアークプラズマによりガスの直接処理を行う
　トーチタイプのような添加ガスを必要とせず、用力費用を低く抑えることが可能
　1リアクタあたり300L/minまで処理が可能
■メンテナンス特性
　リアクタは着脱式で簡単に取り付け取外しを行うことができ
　メンテナンス時間を大幅に削減することが可能
■省エネルギー
　処理対象ガスの有無によりプラズマをON／OFFさせることが可能
■ダウンタイムの削減を実現
　装置内にバックアップ機能を設けることができるため
　万が一のトラブル時もダウンタイムを削減することが可能

□その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

[PDF:3MB]

常圧プラズマ式排ガス処理装置【難分解性のPFCガスも処理可能！】　取扱い会社

クリーン・テクノロジー株式会社詳細

大気汚染防止装置、水質汚染防止装置、廃棄物処理装置、騒音防止装置、振動防止装置、半導体製造装置、半導体試験装置の製造及び販売上記に付帯する一切の業務

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