研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。
【特長】
・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。
・PVCボディー素材で酸、溶剤に対応。
・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。
【仕様】
ワークサイズ:Φ8インチ、もしくは200×200まで
クリーンユニット:HEPAフィルター
洗浄方式:スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
回転数範囲:100〜2,000rpm
回転数設定:ボリューム設定
耐酸アルカリ仕様:耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様:IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション:高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、
及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等
■その他■卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置
など半導体関連装置を取り扱っています。
◆◇詳細はカタログダウンロードから◇◆
基本情報多目的処理装置(スピンプロセッサー)
研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。
【特長】
・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。
・PVCボディー素材で酸、溶剤に対応。
・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。
【仕様】
ワークサイズ:Φ8インチ、もしくは200×200まで
クリーンユニット:HEPAフィルター
洗浄方式:スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
回転数範囲:100〜2,000rpm
回転数設定:ボリューム設定
耐酸アルカリ仕様:耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様:IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション:高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、
及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等
■その他■卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置
など半導体関連装置を取り扱っています。
◆◇詳細はカタログダウンロードから◇◆
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TMS-401 |
用途/実績例 | エッチング装置、洗浄装置、現像装置卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置、等様々です。 |
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