株式会社トービ 多目的処理装置(スピンプロセッサー)

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。

【特長】
・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。
・PVCボディー素材で酸、溶剤に対応。
・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。

【仕様】
ワークサイズ:Φ8インチ、もしくは200×200まで
クリーンユニット:HEPAフィルター
洗浄方式:スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
回転数範囲:100〜2,000rpm
回転数設定:ボリューム設定
耐酸アルカリ仕様:耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様:IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション:高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、
      及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等

■その他■卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置
     など半導体関連装置を取り扱っています。
     ◆◇詳細はカタログダウンロードから◇◆

基本情報多目的処理装置(スピンプロセッサー)

研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。

【特長】
・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。
・PVCボディー素材で酸、溶剤に対応。
・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。

【仕様】
ワークサイズ:Φ8インチ、もしくは200×200まで
クリーンユニット:HEPAフィルター
洗浄方式:スピン洗浄+ブラシ又はMS選択
回転数範囲:100〜2,000rpm
回転数設定:ボリューム設定
耐酸アルカリ仕様:耐酸、アルカリ用ボディ(PVC)使用
対溶剤仕様:IPA.アセトン等の各種溶剤対応ボディ(SUS)使用
オプション:高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、
      及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等

■その他■卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置
     など半導体関連装置を取り扱っています。
     ◆◇詳細はカタログダウンロードから◇◆

価格情報 -
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TMS-401
用途/実績例 エッチング装置、洗浄装置、現像装置卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置、等様々です。

カタログ多目的処理装置(スピンプロセッサー)

取扱企業多目的処理装置(スピンプロセッサー)

株式会社トービ

[半導体・液晶用試験研究開発、生産関連機器] 前工程(フォトリソ関連) 各種洗浄機(ウェット、ドライ)、スピンコーター、マスクアライナー、現像・エッチング装置 各種真空装置、プローバー、膜厚測定用ドリラー ●後工程関連 テープ貼付装置、抵抗率測定器、他 [医療用機器] ●CT、超音波診断装置、麻酔機器、心電計、肺機能検査機器、顕微鏡、他の輸出 ●ELASTRAT血管ファントム(CT、MRI、超音波診断装置)及びコンピューターコントロールフローシステムの輸入及び国内販売

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