- 抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】
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- 最終更新日:2008/07/08
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- 抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】
- ナプソン株式会社
- ナプソン株式会社は、半導体ウエハやFPD基板の各種測定システムを開発・製造・販売しております。
抵抗率/シート抵抗に関するあらゆるニーズにお応えし、仕様設計からアフターケアまで、最新の技術と豊富な経験を活かして、高精度・高性能なシステムをご提供いたします。
その他製品ございますので、詳細はお問い合わせ下さい。 -
抵抗率・厚み測定器 【EC-80SCAN】 基本情報
【面内直線上をスキャン測定可能な、非接触 抵抗率/厚さ測定器】
◆抵抗率・厚さセンサーを搭載し、1度に2種類の測定データ表示可能なので、太陽電池シリコンウエハの測定に最適
◆抵抗率・厚さ測定は1点測定の他に、面内直線上を測定し、グラフ表示可能な『スキャン測定モード』を搭載
◆エアーフローティングステージにより、ウエハ取扱いが容易
◆測定データ保存、パソコンへテキストファイル送信可能(RS-232C)
◆JOGダイヤルによる簡単な測定条件設定
●対象ウエハサイズ:[円形ウエハ]3インチ〜8インチ、[角形ウエハ]50〜156mm(SQまたはPSQ)まで対応
(※)その他詳細についてはお問い合わせ下さい
| 価格 |
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|---|---|
| 価格帯 | その他 |
| 納期 | |
| 発売日 | 取扱い中 |
| 型番・ブランド名 | EC-80SCAN |
| 用途/実績例 | 太陽電池シリコンウエハ |
| よく使用される業種 | 樹脂・プラスチック、民生用電気機器、電子部品・半導体、試験・分析・測定、教育・研究機関 |
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